真空冷冻干燥机的润滑油是混入内部的，如果氟利昂泄漏，就会把润滑油带出来，所以要仔细观察机器内部。如果有片状油污带，很可能是漏点。然后检查机器内部的毛细管铜管，也就是那些6毫米以下的细铜管和工艺管是否破裂。在通过上述基本检查后，对可疑的地方进行标记。        

        然后，需要在一定压力下充入惰性气体，以确认泄漏点。如果条件允许，可以用氮气来保持压力。气态氟利昂可以不用氮气。严禁用氧气保压、查漏。直观的表面相是制冷剂压力表为零。氟泄漏首先要找到泄漏点。保压时，一开始慢慢加气，一边加压一边观察冷干机的制冷剂表压力（小立方米只有低压制冷剂表，15立方米以上有高压和低压两个制冷剂表），加压到0.2Mpa 2.0kgf左右时暂时停止，然后仔细听机器内部是否有漏气。如果有，可以根据声音找到漏点。如果没有，继续加压至0.4-0.5MPa。这时，用海绵蘸肥皂水，检查刚才可疑的地方，然后检查机器内部所有的连接螺母（铜螺母）。

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