真空冷冻干燥机设备的灭菌工艺；
        1.干燥：冷冻干燥室（前室）和冷凝室（后室）加热抽真空干燥。
        2.抽真空：对冷冻干燥室（前室）和冷凝室（后室）抽真空，便于双氧水气体的注入，保证灭菌阶段双氧水气体分布均匀。
        3.灭菌：将过氧化氢气体注入腔室，达到特定值并坚持一段时间（注：灭菌阶段可根据需要多次抽真空、注入过氧化氢气体）。
        4.除渣：灭菌后，多次真空、放空，降低汽化双氧水浓度，直至残渣达到安全指标。

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